超精密Micor系列顯微線掃相機

產品尺寸：199.1H * 135D * 205Wmm

有效寬度：6,14,28mm

清 晰 度：9600/19200/38400dpi

像素大小：0.66um/1.32um/2.65um

線掃速率：3.57kHz

焦距范圍：±0.1mm 

工作距離：52.4/70.2mm

數據接口：USB3.0

主要應用：晶圓表面， 太陽能電池板，硅晶片等