三氯氫硅又稱硅氯仿，在常溫常壓下為具有刺激性氯化氫氣味易流動易揮發(fā)的無色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有著火的危險，遇明火則強烈燃燒，燃燒時發(fā)出紅色火焰和白色煙，生成SiO2．三氯氫硅是甲硅烷的三氯代物。為一種易流動的無色液體，密度1.34克/厘米3 ；能溶于苯、氯仿和二硫化碳。
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