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(馬錦玉 18151073719)
半導(dǎo)體行業(yè)超純水系統(tǒng)介紹:
概述:半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需要大量的純水,高純水,超純水清洗半成品,成品,集成電路的集成度越高,線寬越窄,對(duì)水質(zhì)的要求也越高,目前電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級(jí),分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、5MΩ.cm以區(qū)分不同水質(zhì)。
半導(dǎo)體行業(yè)超純水設(shè)備工藝流程:
1.、原水箱→原水泵→多介質(zhì)過(guò)濾→軟化過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→一級(jí)增壓泵→一級(jí)反滲透→中間水箱→二級(jí)增壓泵→二級(jí)反滲透→純化水箱→EDI輸送泵→EDI設(shè)備→超純水箱→輸送泵→使用點(diǎn) (≥15MΩ.CM)
2.原水箱→原水泵→多介質(zhì)過(guò)濾→軟化過(guò)濾→精密過(guò)濾器→一級(jí)增壓泵→一級(jí)反滲透→PH調(diào)節(jié)→中間水箱→二級(jí)增壓泵→二級(jí)反滲透→純化水箱→EDI輸送泵→EDI設(shè)備→超純水箱→供水水泵→紫外線殺菌→拋光樹(shù)脂→0.22μm過(guò)濾→使用點(diǎn) (≥18MΩ.CM)
應(yīng)用領(lǐng)域:
1. 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水
2. 超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水
3. 汽車、家電表面拋光處理
4. 光電子產(chǎn)品
5. 光學(xué)鏡片,鏡頭清洗超純水設(shè)備
嘉興半導(dǎo)體行業(yè)超純水/超純水設(shè)備/超純水設(shè)備廠家/生產(chǎn)制造