（馬錦玉 18151073719）

半導體行業超純水系統介紹：

概述：半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路需要大量的純水，高純水，超純水清洗半成品，成品，集成電路的集成度越高，線寬越窄，對水質的要求也越高，目前電子工業部把電子級水質技術分為五個行業等級，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、5MΩ.cm以區分不同水質。

半導體行業超純水設備工藝流程：

1.、原水箱→原水泵→多介質過濾→軟化過濾器→精密過濾器→一級增壓泵→一級反滲透→中間水箱→二級增壓泵→二級反滲透→純化水箱→EDI輸送泵→EDI設備→超純水箱→輸送泵→使用點 (≥15MΩ.CM)

2.原水箱→原水泵→多介質過濾→軟化過濾→精密過濾器→一級增壓泵→一級反滲透→PH調節→中間水箱→二級增壓泵→二級反滲透→純化水箱→EDI輸送泵→EDI設備→超純水箱→供水水泵→紫外線殺菌→拋光樹脂→0.22μm過濾→使用點 (≥18MΩ.CM)

應用領域：

1. 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水

2. 超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水

3. 汽車、家電表面拋光處理

4. 光電子產品

5. 光學鏡片，鏡頭清洗超純水設備

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